该厂为8寸大晶圆制造线配套方案的超纯净水整体，日常制造含硅废液150吨。废液中虽无巨资属，但硅含碳量高易水垢，且功率电阻率需做到18MΩ·cm方能回收。原本的清理工学艺不可能提供新修订的《电子器材产业水水污染源的废水排放量标准规定》（GB39731-2020）尤为的排放量最大限度。 废气因素显著特点 包括破坏物 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、颗料硅（孔径0.1-1μm） 特别规定 ：TOC<10μg/L，硼含铁<5μg/L 水污染性能指标 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅无机化合物形态特征麻烦 鑫霖环保设备工艺程序 多元化通过"梯级膜提取+电去化合物"组成方法： 微滤预进行处理 ：1μm瓷砖膜过滤大小粒硅，通量能维持80LMH 阳离子传递环氧树脂 ：D201大孔硅橡胶考虑性吸附物硅酸大分子 二次元RO设备 ：独一段回收并率60%，然后段采取高脱硼膜pcb板 EDI电去铁离子 ：电压密度单位2A/m²，将持续我们要除多余化合物 UV紫外线杀菌消毒 ：254nm太阳光的太阳辐射线残留量40mJ/cm² 技术应用不足之处 建设专用的阻硅剂（无机胺类分手后复合物），减轻膜被污染的周期时间3倍 EDI接口改革创新流道设计构思，硅快速清理率的提升至99.8% 手机在线硅介绍仪（侧量使用范围0.1-500μg/L）推动识贫控制 开机运行取得的成绩 经三是方测试： 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L降到0.3μg/L 体统的回收利用率从原40%提高自己至68% 膜换周期长延后至5年，年使用的成本影响35%