该晶圆加工加工厂属于苏北地方,重要加工84英寸半导体行业晶圆,平均化工废水减排量约800吨。因此加工流程中操作一大批盐酸实现晶圆蚀刻,会导致化工废海里氟化物酸度敢达200-300mg/L,远超欧洲国家减排标准化(10mg/L低于)。
焦化废水成分表及主要来源
废污水最主要的基4个环节:
晶圆蚀刻工艺技术
:含高浓硫酸浓度氟化物(HF)、盐酸及一定量巨资属
催化物理抛光剂(CMP)废水处理方法
:含纳米技术级硅科粒、充分络合剂
机械洁净焦化废水
:含异丙醇、氧化还原电位等可挥发物
办理注意事项注意事项
应用"普通机械乳浊液+沥青混凝土乳浊液+深度的油烟净化器"一级工作系统的:
3级治疗
:污泥脱水氯化钙和氢防氧化钙,进行氟化钙沉淀自己,氟化物除掉率达85%
两级净化处理
:修改PAC(缔合氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),我们要除氢氧化铁态影响物
三级考试治理
:利用多媒介过滤皿器和特异性炭吸出,留水氟化物渗透压安稳在8mg/L下面的
最为关键的仪器属于:pH自动式调整程序、斜管析出池、板框过滤机(生活污水脱水情况)。
终究治疗效果
品牌程序运行四年检测数据信息显现:
氟化物人均溶度:7.2mg/L(底于国准则)
COD除掉率:92%
飞灰水分含量率:≤65%
年收集氟化钙副产物设备约150吨,达到资原化借助