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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆加工加工厂属于苏北地方,重要加工84英寸半导体行业晶圆,平均化工废水减排量约800吨。因此加工流程中操作一大批盐酸实现晶圆蚀刻,会导致化工废海里氟化物酸度敢达200-300mg/L,远超欧洲国家减排标准化(10mg/L低于)。 焦化废水成分表及主要来源 废污水最主要的基4个环节: 晶圆蚀刻工艺技术 :含高浓硫酸浓度氟化物(HF)、盐酸及一定量巨资属 催化物理抛光剂(CMP)废水处理方法 :含纳米技术级硅科粒、充分络合剂 机械洁净焦化废水 :含异丙醇、氧化还原电位等可挥发物 办理注意事项注意事项 应用"普通机械乳浊液+沥青混凝土乳浊液+深度的油烟净化器"一级工作系统的: 3级治疗 :污泥脱水氯化钙和氢防氧化钙,进行氟化钙沉淀自己,氟化物除掉率达85% 两级净化处理 :修改PAC(缔合氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),我们要除氢氧化铁态影响物 三级考试治理 :利用多媒介过滤皿器和特异性炭吸出,留水氟化物渗透压安稳在8mg/L下面的 最为关键的仪器属于:pH自动式调整程序、斜管析出池、板框过滤机(生活污水脱水情况)。 终究治疗效果 品牌程序运行四年检测数据信息显现: 氟化物人均溶度:7.2mg/L(底于国准则) COD除掉率:92% 飞灰水分含量率:≤65% 年收集氟化钙副产物设备约150吨,达到资原化借助

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